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澳柯玛云联央求改善薄膜均匀性专利, 擢升器件性能

2025-05-06 11:25    点击次数:173

  

金融界2025年5月3日音问,国度学问产权局信息泄漏,青岛澳柯玛云联信息技能有限公司央求一项名为“一种改善薄膜均匀性的技艺”的专利,公开号CN119905392A,央求日历为2023年10月。

专利撮要泄漏,本发明提供一种改善薄膜均匀性的技艺,所述技艺包括:提供衬底,所述衬底内造成有多个沟槽,使得所述衬底具有沟槽部以及位于相邻所述沟槽部之间的了得部;对所述衬底进行离子注入,以使所述了得部的至少部分名义非晶化造成非晶层;对所述衬底以及所述非晶层进行氧化以在所述了得部的名义造成氧化层。本发明通过非晶化在所述了得部的名义造成氧化层,使得所述氧化层的厚度基本交流或厚度互异减小,做期货改善了沟槽不同位置处的氧化层的厚度互异,改善了衬底不同位置处的氧化层的厚度互异,擢升了氧化层厚度的均匀性,擢升了器件性能。

天眼查贵府泄漏,青岛澳柯玛云联信息技能有限公司,配置于2020年,位于青岛市,是一家以从事软件和信息技能工功课为主的企业。企业注册本钱50000万东说念主民币。通过天眼查大数据分析,青岛澳柯玛云联信息技能有限公司共对外投资了5家企业,专利信息30条,此外企业还领有行政许可4个。

本文源自:金融界



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