澳柯玛云联央求改善薄膜均匀性专利, 擢升器件性能
2025-05-06金融界2025年5月3日音问，国度学问产权局信息泄漏，青岛澳柯玛云联信息技能有限公司央求一项名为“一种改善薄膜均匀性的技艺”的专利，公开号CN119905392A，央求日历为2023年10月。 专利撮要泄漏，本发明提供一种改善薄膜均匀性的技艺，所述技艺包括：提供衬底，所述衬底内造成有多个沟槽，使得所述衬底具有沟槽部以及位于相邻所述沟槽部之间的了得部；对所述衬底进行离子注入，以使所述了得部的至少部分名义非晶化造成非晶层；对所述衬底以及所述非晶层进行氧化以在所述了得部的名义造成氧化层。本发明通过非